Monitoring and control of plasma-enhanced processing of semiconductors - 1-2 November 1988, Santa Clara, California
- Författare
- (James E. Griffiths, chair/editor.)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Cop. 1989 | USA | viii, 147 sidor. ill. |